主要特點(diǎn)：

1,、設(shè)有真空表,、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài),。
2,、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,，控制真空室壓強(qiáng),、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得最佳鍍膜效果,。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象,。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用,。
5,、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈,。
6,、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能,、精細(xì)顆粒的涂層,。
7、可用水冷濺射頭,、水冷載物臺(tái),。

技術(shù)參數(shù)：